位于美國(guó)北卡羅來納州羅利市的 Kyma Technologies 公司和位于日本埼玉縣狹山市的 Novel Crystal Technology Inc (NCT) 正在合作開發(fā)氧化鎵 (Ga₂O₃) 外延片，旨在加速 Ga₂O₃ 器件在高壓電力電子應(yīng)用（包括電動(dòng)汽車、可再生能源、航空航天和工業(yè)系統(tǒng)）中的商業(yè)化。

氧化鎵相較于傳統(tǒng)硅以及其他寬帶隙材料，例如碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN)，具有顯著優(yōu)勢(shì)，包括更高的擊穿電場(chǎng)和更低的生產(chǎn)成本潛力。然而，一個(gè)主要的行業(yè)瓶頸仍然是器件級(jí) Ga₂O₃ 外延片的供應(yīng)有限，這些外延片需要具有持續(xù)低缺陷率和可擴(kuò)展的生產(chǎn)方法。

通過將 NCT 在生產(chǎn)高質(zhì)量 Ga₂O₃ 襯底方面的專業(yè)知識(shí)與 Kyma 的外延生長(zhǎng)能力相結(jié)合，兩家公司旨在開發(fā)適用于多 kV 級(jí)功率器件的大面積（直徑 150 毫米）外延片的生產(chǎn)工藝。

Kyma 和 NCT 已合作多年?，F(xiàn)在，Kyma 基于 NCT 襯底（直徑最大可達(dá) 100 毫米）的 epi 服務(wù)已面向更廣泛的研發(fā)領(lǐng)域銷售。這些外延片有望賦能新一代功率半導(dǎo)體器件，使其在高要求應(yīng)用中提供更高的效率和性能。對(duì)于正在進(jìn)行的功率器件開發(fā)工作，Kyma 和 NCT 的技術(shù)團(tuán)隊(duì)將密切合作，包括滿足客戶的特定需求。

Kyma 總裁兼首席執(zhí)行官 Heather Splawn 表示：“我們的合作充分利用了兩家公司各自的優(yōu)勢(shì)技術(shù)，突破了 Ga₂O₃ 外延片生產(chǎn)的界限。”她補(bǔ)充道：“Novel Crystal Technology 生產(chǎn)全球最優(yōu)質(zhì)的 Ga₂O₃ 襯底，我們很高興 Kyma 現(xiàn)在可以為客戶提供在這些襯底上進(jìn)行獨(dú)特的外延生長(zhǎng)技術(shù)。”

NCT 總裁兼首席執(zhí)行官倉又朗人表示：“我們很高興能與Kyma Technologies合作，進(jìn)一步開發(fā)高質(zhì)量的 Ga₂O₃ 外延片。我們的目標(biāo)是共同加速 Ga₂O₃ 器件在全球范圍內(nèi)的應(yīng)用，為關(guān)鍵行業(yè)和技術(shù)領(lǐng)域提供支持。”

本文轉(zhuǎn)發(fā)自《亞洲氧化鎵聯(lián)盟》訂閱號(hào)